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septembre 2017 | novembre 2017

Développement d’un outil de scatterométrie dynamique neuronal

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Doctorant : El Kalioubi Ismail

  • Directeur : Gourgon Cécile

La scattérométrie est une technique de métrologie qui intéresse considérablement l’industrie de la microélectronique et plus généralement de toutes les applications de nanofabrication, notamment pour ses caractéristiques non destructives, précises, de rapidité, etc… Elle se situe indéniablement comme une technique prometteuse et la configuration statique est déjà utilisée en production sur les lignes de STMicroelectronics par exemple. Etant donné le caractère novateur des réseaux de neurones pour les applications scattérométriques, une valorisation par dépôt de brevet est envisageable, au même titre que le brevet déposé par le LTM sur l’utilisation des GPU pour le traitement du problème inverse en bibliothèque.