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Analyse de la qualité des interfaces et surfaces dans les matériaux ultraminces par génération de seconde harmonique

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  • Directeur : Ionica Irina

L’objectif de cette thèse concerne le développement d’outils de caractérisation
innovants de par leur caractère non invasif et non destructif, permettant de sonder
des interfaces entre différents matériaux constituant les dispositifs développés en
micro-nanoélectronique. La technique au coeur de cette thèse est basée sur l’analyse
de la seconde harmonique générée lors de la réflexion aux interfaces d’une onde
lumineuse à la fréquence fondamentale. Cette méthode de caractérisation une fois
qualifiée et calibrée devrait permettre d’obtenir à des informations difficilement
accessibles par les techniques invasives utilisées actuellement et qui de plus
atteignent leurs limites de résolution.Ce travail sera réalisé en partenariat avec
SOITEC avec le double objectif de caractériser les matériaux pour l’électronique
développés par cette entreprise mais aussi, à terme de transférer l’équipement SHG
pour des mesures en production. Les résultats obtenus dans le cadre de ce travail
seront valorisés par des publications, des communications ou des brevets.